真空玻璃真空度檢測(真空系統）

 (1)在外界環境腐蝕及外力沖擊下，真空玻璃真空度極易衰變或損失，真空玻璃的真空度要達到一定的標準才能保證其功效及性能的完好發揮。

(2) 真空玻璃由于玻璃內外存在大氣壓差,會導致玻璃與支撐結構支撐點處產生應力集中,當玻璃真空度衰變或損失時，將改變真空玻璃內部支撐物與玻璃的相互作用力的大小。

(3)真空玻璃支撐物與玻璃相互作用產生的應力集中現象能夠通過光彈儀檢測到，試驗結果觀測到真空玻璃的真空度與光彈應力斑的大小成正比例關系，當真空玻璃真空度完全消失時，應力光斑也完全消失，用該方法可以定性或半定量地在線檢測到真空玻璃真空度的保有量或損失情況。

(4)真空玻璃的固有頻率能夠反應真空玻璃的實際工作狀態，且是一個較容易在現場獲得的參數。試驗表明，當真空玻璃真空度衰變時，真空玻璃的固有頻率也會降低。因此只要通過試驗，建立起真空玻璃真空度與其固有頻率變化之間的關系，就能夠達到在線測量真空玻璃的固有頻率來檢測真空玻璃真空度。

任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。*好的辦法是廠家通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要求再生等。

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