真空計的分類及其適用量程范圍（二手真空計）

 真空計的分類及其適用量程范圍（二手真空計），壓力測量中，除極少數(shù)直接測量外，絕大多數(shù)是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現(xiàn)象，然后再測量這一過程中與壓力有關的物理量，進而設法確定壓力值。這是真空測量的特點，亦會造成某些問題。

1、真空計(Vacuum gauge)是測量低于一個大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。

2、**真空計是從真空計本身測得的物理量直接計算出(或得出)壓力的儀器。

3、相對真空計則是必須經(jīng)過**真空計的校準之后才能進行真空度的測量。

任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關系，都是在某一壓力范圍內(nèi)才*顯著，超出這個范圍，關系變得弱了。因此，任何方法都有其一定的測量范圍，這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程，是真空科學研究的重要內(nèi)容之一。近代真空技術所涉及到的壓力范圍寬達19個數(shù)級(105～10-14 Pa)，沒有任何一種真空計能測量如此寬的壓力范圍，因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種真空計在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域，往往要造成較大的誤差。由上觀之，為改善真空計性能及提高真空測量準確度，必須突出主要現(xiàn)象，抑制寄生現(xiàn)象。表1給出一些真空計的壓力測量范圍。

在較高壓力時(105～1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等。 在103～10-2 Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。


              
                                              表2 真空計的適用壓力范圍

真空計的名稱	可測的壓力范圍(Pa)
水銀壓力計(U型管)	105～102
油壓力計(U型管)	105～102
油壓力計(U型管)	3*103～1
麥克勞真空計(一般型和特殊型)	103～10-3
彈性變形真空計	105～102
隔膜真空計(機械式)	105～102
隔膜真空計(電氣式)	105～10-3
電離真空計(三極管型)	10-1～10-5
超高真空用B-A型	10-2～10-6
極高真空用熱陰極磁控計	10-5～10-10
高真空用(舒爾茨型)	10～10-2
冷陰極真空計	1～10-5
皮拉尼真空計	104～10-2
熱電偶真空計	102～10-1
熱敏電阻真空計	102～10-1
粘性真空計	1～10-5
克努曾真空計	10-1～10-5

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