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二手分子泵的設計要點

日期:2024-11-06 00:21
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摘要:
 
       二手分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。
       在復合二手分子泵的設計中,必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關系。由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣面積較小,在兩種結構的聯接處,由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變,使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序,至使返流增加,抽氣能力下降。因此,在設計時應在渦輪級和牽引級轉換處加上過渡級結構,以提高泵的抽氣性能。
       隨著復合二手分子泵的不斷改進,其應用領域越來越廣,在某些抽氣系統上可以替代擴散泵,縮短了系統的抽氣時間,并可獲得無油污染的清潔真空環境。




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