真空鍍膜設備——真空計 

        真空計：真空計是真空鍍膜設備上的重要組成部分，它是檢測鍍膜機真空度的重要手段。真空計根據其工作原理可以分為**真空計和相對真空計，**真空計可以直接測量壓強的高低，相對真空計只能間接測量真空度。

        本文重點介紹鍍膜機器上面常用到的以下幾個真空計：

        點阻真空計（又叫皮喇尼真空計）：它主要由電熱絲、外殼和支架構成，主要是根據在低壓下，氣體的熱傳導系數與壓強成正比的方式工作的。上面開口處與被測真空系統相連接，熱絲采用電阻溫度系數大的金屬絲做成，兩支支架引線與測量線路連接。當壓強降低的時候，由于氣體熱傳導散失的熱量減小，因此當熱磁加熱電流穩定時候，則熱絲溫度就上升，熱絲的電阻就增大，用測量熱絲電阻值的大小來間接測量壓強，有以下關系：這就是電阻真空計的工作原理，此真空計的測量范圍是：100-10-1帕之間，目前采用的型號是磁控放電真空計：工作原理：在放電開始時，由于空間游離電子向陽極運動時，在正交電磁場作用下，電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進，又因為陽極是框形，故電子不一定**次就碰上陽極，而是穿過陽極，然后收到對面陰極的拒斥，又復返回。這樣反復多次才可能打上陽極。由于電子路程大大加長，故碰撞及電離的分子數增加，使得在較低壓強（10-4帕以下）仍維持放電(也稱潘寧放電)。目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY放電管真空計：在玻璃管中封入兩個金屬電極，在其上加上數千伏的直流高電壓，在一定的壓強范圍內（1*10*3~2*10托）內就能引起自持放電，通過放電顏色來判定其真空度。目前為止，此種真空計已經很少使用，因為其誤差大，容易損壞，而且壽命不長。

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