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愛德華分子泵維修,Edwards真空干泵保養,Edwards EXT400/200/30 BETA是特殊專用分流的復合渦輪分子泵,Edwards EXT400/200/30 BETA三入口能同時抽取三個腔體的真空,分別抽速可達到310L/s/200L/s/27L/s,轉速為60000rpm,對應的控制器為Edwards EXDC160,愛德華分子泵維修,Edwards真空干泵保養
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