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EXT400/200/30H三入口能同時(shí)抽取三個(gè)腔體的真空,分別抽速可達(dá)到302 L/s / 190 L/s /28L/s,轉(zhuǎn)速為60000rpm,對(duì)應(yīng)的控制器為Edwards EXDC160,金華杰精修Edwads愛(ài)德華/Seiko Seiki精工精機(jī)全系列分子泵。
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