渦輪分子泵的優點（分子泵維修）

 由于渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：

(1)清潔，無油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由于現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了，對于小泵多用油脂潤滑軸承，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵


(2)使用方便

在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除了這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它只能在垂直±5°范圍內工作）。這個特點，可用于安裝位置受限制的地方。

(3)氣體輸送能力強

大多數渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適于氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。

(4)適于超高真空應用

一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的干式前級泵），其極限真空度一般可達到10- 9～10- 10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封并除氣良好的泵，一般其極限壓力在1×10- 10～1×10-11 Torr （即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用于高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。

(5)高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對于低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。

(6)循環的時間短

多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對于不同品種和型號的泵有所不同。并且能立即關閉，并可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。

(7)正常使用時間長

在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。

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