如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）

 (1)如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）-為什么要充氣？      

      當(dāng)渦輪分子泵關(guān)閉或運(yùn)轉(zhuǎn)極慢時(shí)，泵將不再有足夠大的壓縮比（泵內(nèi)壓力梯度）來阻止前級(jí)側(cè)存在的碳?xì)浠衔锿ㄟ^渦輪葉片向真空室進(jìn)行返流。這種現(xiàn)象稱作反擴(kuò)散或分子返流。在靜態(tài)條件下，整個(gè)系統(tǒng)的壓力均衡時(shí)，在前級(jí)管道側(cè)，油的分壓力通常為10-4～10-6Torr（或 13.33mPa～133.3μPa）*后也會(huì)波及到泵的入口處。當(dāng)泵關(guān)閉時(shí)，適當(dāng)?shù)亟o泵內(nèi)充氣是控制油分子返流，保持真空室內(nèi)無碳?xì)浠衔锏囊环N有效的措施。     

當(dāng)停泵后，碳?xì)浠衔锓盗骱芸焱ㄟ^泵進(jìn)入真空室內(nèi)，如果系統(tǒng)仍保持在真空狀態(tài)下，碳?xì)浠衔飳?huì)粘在清潔的葉片和真空室的表面上。在隨后再運(yùn)轉(zhuǎn)該系統(tǒng)時(shí)，將極難抽除粘著的碳?xì)浠衔铩Ａ硪环矫妫跍u輪分子泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，如果給泵充入干燥氮?dú)饣蚋稍锟諝猓瑒t該干燥氣體將給暴露的表面提供一層氣體保護(hù)層，而且在系統(tǒng)充氣后，返流的碳?xì)浠衔镉捎谂c充入的氣體混合起來，從而它的粘著能力很弱，在混合氣體中碳?xì)浠衔锼急壤龢O小，在下一次抽空時(shí)也很快就能被抽走。    

   (2)如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）-延遲充氣：     

 雖然在泵斷開電源后就應(yīng)給泵充氣已被大家所接受，且很平常，但是，渦輪分子泵在切斷電源后，泵要漸漸地減速，若延遲幾秒或幾分鐘再充氣會(huì)更好一些。在泵減速到它平時(shí)速度的30%～50%期間，此時(shí)泵仍能起到抽氣和壓縮作用。能有效地使真空室處在真空狀態(tài)下且能防止碳?xì)浠衔锏姆盗鳌Ｑ舆t充氣也能使閥門有足夠的時(shí)間關(guān)閉，在經(jīng)常停電的情況下，延遲充氣是很有用的。為了延遲充氣，前級(jí)真空必須維持在 1～1000μmHg（1×10-3mmHg~1mmHg或133.3mPa～133.3Pa）范圍之內(nèi)，所以在渦輪分子泵與前級(jí)泵之間必須有一個(gè)真空閥，或者在前級(jí)泵內(nèi)部裝一個(gè)控制閥，該閥應(yīng)在電源中斷時(shí)，使渦輪分子泵與前級(jí)泵隔離開來。否則，通過前級(jí)泵、前級(jí)管道被充氣，并導(dǎo)致了油的污染。      

 (3)如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）-在何處充氣？      

在渦輪分子泵的前級(jí)側(cè)充氣，能強(qiáng)制使碳?xì)浠衔锪⒖掏ㄟ^渦輪分子泵流入真空室。另一方面，若在渦輪分子泵吸入側(cè)充氣，能達(dá)到以清潔氣體覆蓋表面的目的。并使氣流流向渦輪分子泵（自上而下），能暫時(shí)阻止、延遲碳?xì)浠衔锏姆盗鳎灿行u輪分子泵在壓縮級(jí)之間進(jìn)行中間充氣，它和在吸入側(cè)充氣控制碳?xì)浠衔锓盗鲙缀跬瑯佑行АＴ诔哒婵障到y(tǒng)中，在壓縮級(jí)充氣尤其優(yōu)越。因?yàn)橹虚g充氣不需要價(jià)格昂貴的金屬密封的可烘烤的充氣閥。 

 (4)如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）-怎樣充氣？     

 如果渦輪分子泵置于一個(gè)清潔、干燥的周圍環(huán)境中，就可以充室內(nèi)的空氣。然而充氣入口的位置必須仔細(xì)選擇。如果充氣入口位置靠近油封式旋片泵的排氣口位置之上，則充入的氣體中會(huì)含有油蒸汽勢(shì)必會(huì)對(duì)真空系統(tǒng)造成污染，而且如果空氣是濕的，為了減少以后再抽氣的時(shí)間，于是要充入干燥氮?dú)饣蚪?jīng)過干燥器過濾的空氣。另外也不一定總是充入大氣壓力下的氣體，若充入氣體的壓力為幾Torr（幾hpa）的干燥氣體就足以能控制碳?xì)浠衔锏姆盗鳌?/span>

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