分子泵葉片打碎原因（分子泵維修）

造成分子泵轉(zhuǎn)子、靜子打碎的原因比較多，歸納起來主要是以下幾點(diǎn)：

1、誤操作；比如突然的破真空，因?yàn)檗D(zhuǎn)子與靜子葉片之間的空隙非常的小，如果葉片的材質(zhì)比較薄或者比較軟，突然的空氣阻力會(huì)造成葉片變形，這樣可能會(huì)造成轉(zhuǎn)子靜子之間的摩擦，導(dǎo)致打碎。

2、是異物掉入；沒有安裝過濾網(wǎng)使肯定不行的，另外掉進(jìn)去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會(huì)造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設(shè)備商在安裝分子泵的時(shí)候會(huì)盡量改為側(cè)面90度或倒立安裝，避免異物掉入。

3、電壓的不穩(wěn)定，特別對(duì)磁浮類的分子泵損傷較大。

4、前級(jí)泵的效率差；我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級(jí)泵抽出，真空達(dá)到一定程度分子泵才會(huì)啟動(dòng)。如果前級(jí)泵的效率差，分子泵就會(huì)比較吃力，啟動(dòng)速度慢，抽氣時(shí)間長，電流高，分子泵溫度升高等。

5、分子泵保養(yǎng)時(shí)的動(dòng)平衡沒有做好，這是技術(shù)的關(guān)鍵，動(dòng)平衡差，振動(dòng)就大，抽氣效率就差，也容易造成軸承部分的過度磨損。

6、軸承部分沒有使用原廠的標(biāo)準(zhǔn)軸承，效果和尺寸不標(biāo)準(zhǔn)等。

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