CF法蘭使用注意事項(xiàng)(超高真空分子泵保養(yǎng))
CF法蘭使用注意事項(xiàng)(超高真空分子泵保養(yǎng))
CF法蘭使用時(shí)有幾個(gè)注意點(diǎn):螺栓一定要涂抹 MoS2,以免螺栓和螺母咬合卡死;法蘭外周要對(duì)齊;法蘭面要保持一點(diǎn)距離,為烘烤后繼續(xù)上緊螺栓留出余地。
CF法蘭中,刀口要切入金屬密封圈來(lái)實(shí)現(xiàn)真空密封。長(zhǎng)期使用,刀口會(huì)逐漸變鈍。另外,受硬器碰撞后刀口容易受傷。這時(shí)的補(bǔ)救措施之一,是使用IPD金屬密封圈。IPD金屬密封圈不依靠法蘭的刀口,而依靠刀口
外周的斜面來(lái)密封。
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