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真空計量、質譜和檢漏的一些進展（檢漏儀維修）
日期：2024-11-05 21:43
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摘要：真空計量、質譜和檢漏的一些進展（檢漏儀維修）
自從2002年召開中國真空學會第十一屆質譜分析和檢漏會議和中國計量測試學會第六屆真空計量會議( 桂林會議)以來，國內外真空計量、質譜和檢漏領域均有新進展。
2003年9月22-24日在北京由國際測量聯合會(International Measurement confederation簡稱IMKO)壓力和真空測量技術委員會(TC 16) **在我國北京召開了國際壓力和真空測量會議，參加會議的代表來自美、英、德、意、韓、日、法、墨、芬、新、十、捷、俄、巴基斯坦和中國等十五國，共發表論文5 4篇，己由中國計量出版社用英文出...
真空計量、質譜和檢漏的一些進展（檢漏儀維修）
自從2002年召開中國真空學會第十一屆質譜分析和檢漏會議和中國計量測試學會第六屆真空計量會議( 桂林會議)以來，國內外真空計量、質譜和檢漏領域均有新進展。
2003年9月22-24日在北京由國際測量聯合會(International Measurement confederation簡稱IMKO)壓力和真空測量技術委員會(TC 16) **在我國北京召開了國際壓力和真空測量會議，參加會議的代表來自美、英、德、意、韓、日、法、墨、芬、新、十、捷、俄、巴基斯坦和中國等十五國，共發表論文5 4篇，己由中國計量出版社用英文出版了三白余頁的會議論文集。由蘭州物理所、消華大學和中國計量院執筆、 綜述中國真空計量進展的論文作為大會綜述報告在全體會議上發表，中文全文已刊登在“ 真空與低溫”2004年**期。
2004年6月28日一7月2日在意大利的威尼斯城召開了第十六屆國際真空會議〔IVC-16)/第十二屆國際固體表面會議 (ICSS-12)/第八屆國際納米尺度科學與技術會議(NANO-8)和第十七屆意大利真空會議( AIV -17) 。這二年一屆的國際盛會有1500人參加，設有真空科學與技術專門分會場，共發表口頭和張貼真空論文108篇，一定程度上反映了真空計量、質譜和檢漏技術的現狀和新進展。
近兩年有機會訪問了歐美的一些相關工廠和研究單位，包括德國聯邦物理技術研究所(PTB)和意大利計量研究院(IMG C)的真空校準實驗室、Varian公司在意大利和美國的工廠和美國AMETEK和Extrel兩家生產四極質譜計的公司。
本文將根據已了解的國內外真空計量、質譜和檢漏領域的新進展，結合參加兩個相關國際會議與對歐美的訪問作簡要綜述，由于了解情況有限，希望起到 “ 拋磚引玉”的作用。
一、真空計量
質量控制和加入WTO促進了我國對計量和標準化的重視， 有些部門已經加大了對真空計量的投入，出現了一些可喜的進展和新成果。
我國已生產的各種類型真空計數量和質量均有提高。
德國PTB的K. Jousten博士在IVC-16上做了“在分子流區域氣體密度非均勻性的測量與計算”報告，國際標準化組織 (ISO)/真空技術(TC112)秘書處現設在PTB,意大利IMGC的Calcartell博士綜述了意大利真空技術的發展，該所在電容薄膜規(CDG)校準和修正擬合模型等方面長期開展了深入的研究。
韓國、墨西哥等國都加大了對真空計量等的投入。
真空計集成實現寬量程的發展趨勢引人注目， 目前己有寬達13個量程的這類商品出現。
我國在加強基礎研究、提高真空計量和發展新品種、更積極的參加ISO/ TC 112活動等方面均需做山更大的努力。
二、質譜分析
國內外對真空質譜重要性的認識進一步得到確認， 國內需求急劇增長，取得了多項有重要價值的成果。
雖然我國曾在真空質譜儀器研究方面敲步甚早， 當前與大、中型質譜儀器的開發停滯不前的形勢一樣， 國產分壓強質譜計的研究和生產已落入低谷 盡管還有些單位在困難條件下堅持工作。這一嚴峻形勢*近已開始引起注意。
四極質譜計系列仍是主流產品， 激烈的竟爭促使了性能價格比的提高，在擴展質量范圍、提高質量分辨本領、擴展樂強范圍( Extended Pressure Range),微型化以及縮小體積減輕重量等方面不斷取得新的突破。
小型色譜飛行時間質譜計(TOFMS)的發展取得了顯著的進展。
小型色譜/質譜(GC/MS)儀器的新進展值得重視。
分壓強質譜計的校準日益受到重視，但目前尚未達到標準化的程度，我國在這方面早已起步，取得了階段性成果。
在國內真空質譜分析需求急劇增長和國外產品競相進入我國市場的條件下，既是嚴峻的挑戰，也有良好的發展機遇。
三、檢漏
檢漏已成為保證真空、常壓以及高壓器件和系統密封性必不可少的實用技術， 在迅速發展確保密封性的系統下 程中成為*重要的檢測手段， 我國已有日益廣泛的應用領域， 還有很多尚待開發的處女地。
在國際上各種類型先進的檢漏儀器不斷進入國內市場的同時，我國檢漏儀器的開發和生產從來沒有中斷過，己經穩定的保持了民族工業的發展， 并不斷進取， 采用先進的技術。
每次年會上都可高興地見到新產品和新型號儀器問世，涉及的廠家和單位也不斷擴大。
各種類型的質譜檢漏儀，特別是便攜式儀器在10-12~10-11Pa m 3/s檢漏靈敏度范圍內穩步提高的情況下 ，主要朝便于實用的方向繼續發展。與此同時，為確保小型真空儀器的高可靠性和長壽命， 采用累積法實現10 -14 ~10-11 Pa m 3/s，超靈敏度檢漏系統和技術正在發展，我國這方向的研究也不斷取得新進展。
為滿足工業檢翻日益增長的需求， 非質譜型工業業檢漏儀器的發展*值得引起國內的密切注意。 利用石英滲氮及其溫度效應和小型離子泵作為檢測元件的工業便攜式檢測儀器成為IVC-16會議上真空儀器發展的新亮點，至少己有加熱石英毛細管和利用硅基片上沉積Si02膜，通過半導體工藝制成Si02窗和熱柵的兩種商品批聳生產，具有工業檢漏的靈敏度，可在大氣壓下檢漏。
自從2002年召開中國真空學會第十一屆質譜分析和檢漏會議和中國計量測試學會第六屆真空計量會議( 桂林會議)以來，國內外真空計量、質譜和檢漏領域均有新進展。
2003年9月22-24日在北京由國際測量聯合會(International Measurement confederation簡稱IMKO)壓力和真空測量技術委員會(TC 16) **在我國北京召開了國際壓力和真空測量會議，參加會議的代表來自美、英、德、意、韓、日、法、墨、芬、新、十、捷、俄、巴基斯坦和中國等十五國，共發表論文5 4篇，己由中國計量出版社用英文出版了三白余頁的會議論文集。由蘭州物理所、消華大學和中國計量院執筆、 綜述中國真空計量進展的論文作為大會綜述報告在全體會議上發表，中文全文已刊登在“ 真空與低溫”2004年**期。
2004年6月28日一7月2日在意大利的威尼斯城召開了第十六屆國際真空會議〔IVC-16)/第十二屆國際固體表面會議 (ICSS-12)/第八屆國際納米尺度科學與技術會議(NANO-8)和第十七屆意大利真空會議( AIV -17) 。這二年一屆的國際盛會有1500人參加，設有真空科學與技術專門分會場，共發表口頭和張貼真空論文108篇，一定程度上反映了真空計量、質譜和檢漏技術的現狀和新進展。
近兩年有機會訪問了歐美的一些相關工廠和研究單位，包括德國聯邦物理技術研究所(PTB)和意大利計量研究院(IMG C)的真空校準實驗室、Varian公司在意大利和美國的工廠和美國AMETEK和Extrel兩家生產四極質譜計的公司。
本文將根據已了解的國內外真空計量、質譜和檢漏領域的新進展，結合參加兩個相關國際會議與對歐美的訪問作簡要綜述，由于了解情況有限，希望起到 “ 拋磚引玉”的作用。
一、真空計量
質量控制和加入WTO促進了我國對計量和標準化的重視， 有些部門已經加大了對真空計量的投入，出現了一些可喜的進展和新成果。
我國已生產的各種類型真空計數量和質量均有提高。
德國PTB的K. Jousten博士在IVC-16上做了“在分子流區域氣體密度非均勻性的測量與計算”報告，國際標準化組織 (ISO)/真空技術(TC112)秘書處現設在PTB,意大利IMGC的Calcartell博士綜述了意大利真空技術的發展，該所在電容薄膜規(CDG)校準和修正擬合模型等方面長期開展了深入的研究。
韓國、墨西哥等國都加大了對真空計量等的投入。
真空計集成實現寬量程的發展趨勢引人注目， 目前己有寬達13個量程的這類商品出現。
我國在加強基礎研究、提高真空計量和發展新品種、更積極的參加ISO/ TC 112活動等方面均需做山更大的努力。
二、質譜分析
國內外對真空質譜重要性的認識進一步得到確認， 國內需求急劇增長，取得了多項有重要價值的成果。
雖然我國曾在真空質譜儀器研究方面敲步甚早， 當前與大、中型質譜儀器的開發停滯不前的形勢一樣， 國產分壓強質譜計的研究和生產已落入低谷 盡管還有些單位在困難條件下堅持工作。這一嚴峻形勢*近已開始引起注意。
四極質譜計系列仍是主流產品， 激烈的竟爭促使了性能價格比的提高，在擴展質量范圍、提高質量分辨本領、擴展樂強范圍( Extended Pressure Range),微型化以及縮小體積減輕重量等方面不斷取得新的突破。
小型色譜飛行時間質譜計(TOFMS)的發展取得了顯著的進展。
小型色譜/質譜(GC/MS)儀器的新進展值得重視。
分壓強質譜計的校準日益受到重視，但目前尚未達到標準化的程度，我國在這方面早已起步，取得了階段性成果。
在國內真空質譜分析需求急劇增長和國外產品競相進入我國市場的條件下，既是嚴峻的挑戰，也有良好的發展機遇。
三、檢漏
檢漏已成為保證真空、常壓以及高壓器件和系統密封性必不可少的實用技術， 在迅速發展確保密封性的系統下 程中成為*重要的檢測手段， 我國已有日益廣泛的應用領域， 還有很多尚待開發的處女地。
在國際上各種類型先進的檢漏儀器不斷進入國內市場的同時，我國檢漏儀器的開發和生產從來沒有中斷過，己經穩定的保持了民族工業的發展， 并不斷進取， 采用先進的技術。
每次年會上都可高興地見到新產品和新型號儀器問世，涉及的廠家和單位也不斷擴大。
各種類型的質譜檢漏儀，特別是便攜式儀器在10-12~10-11Pa m 3/s檢漏靈敏度范圍內穩步提高的情況下 ，主要朝便于實用的方向繼續發展。與此同時，為確保小型真空儀器的高可靠性和長壽命， 采用累積法實現10 -14 ~10-11 Pa m 3/s，超靈敏度檢漏系統和技術正在發展，我國這方向的研究也不斷取得新進展。
為滿足工業檢翻日益增長的需求， 非質譜型工業業檢漏儀器的發展*值得引起國內的密切注意。 利用石英滲氮及其溫度效應和小型離子泵作為檢測元件的工業便攜式檢測儀器成為IVC-16會議上真空儀器發展的新亮點，至少己有加熱石英毛細管和利用硅基片上沉積Si02膜，通過半導體工藝制成Si02窗和熱柵的兩種商品批聳生產，具有工業檢漏的靈敏度，可在大氣壓下檢漏。
為保證檢漏儀器的可靠性， 微流量(漏率)的校準及參考漏孔的研制都取得了持續穩定的進展，這方面國內取得了可喜的進展，靈敏度檢翻的實時校準方法有白己的特色。
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