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真空計(jì)量、質(zhì)譜和檢漏的一些進(jìn)展（檢漏儀維修）
日期：2025-04-03 09:50
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摘要：真空計(jì)量、質(zhì)譜和檢漏的一些進(jìn)展（檢漏儀維修）
自從2002年召開(kāi)中國(guó)真空學(xué)會(huì)第十一屆質(zhì)譜分析和檢漏會(huì)議和中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)第六屆真空計(jì)量會(huì)議( 桂林會(huì)議)以來(lái)，國(guó)內(nèi)外真空計(jì)量、質(zhì)譜和檢漏領(lǐng)域均有新進(jìn)展。
2003年9月22-24日在北京由國(guó)際測(cè)量聯(lián)合會(huì)(International Measurement confederation簡(jiǎn)稱IMKO)壓力和真空測(cè)量技術(shù)委員會(huì)(TC 16) **在我國(guó)北京召開(kāi)了國(guó)際壓力和真空測(cè)量會(huì)議，參加會(huì)議的代表來(lái)自美、英、德、意、韓、日、法、墨、芬、新、十、捷、俄、巴基斯坦和中國(guó)等十五國(guó)，共發(fā)表論文5 4篇，己由中國(guó)計(jì)量出版社用英文出...
真空計(jì)量、質(zhì)譜和檢漏的一些進(jìn)展（檢漏儀維修）
自從2002年召開(kāi)中國(guó)真空學(xué)會(huì)第十一屆質(zhì)譜分析和檢漏會(huì)議和中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)第六屆真空計(jì)量會(huì)議( 桂林會(huì)議)以來(lái)，國(guó)內(nèi)外真空計(jì)量、質(zhì)譜和檢漏領(lǐng)域均有新進(jìn)展。
2003年9月22-24日在北京由國(guó)際測(cè)量聯(lián)合會(huì)(International Measurement confederation簡(jiǎn)稱IMKO)壓力和真空測(cè)量技術(shù)委員會(huì)(TC 16) **在我國(guó)北京召開(kāi)了國(guó)際壓力和真空測(cè)量會(huì)議，參加會(huì)議的代表來(lái)自美、英、德、意、韓、日、法、墨、芬、新、十、捷、俄、巴基斯坦和中國(guó)等十五國(guó)，共發(fā)表論文5 4篇，己由中國(guó)計(jì)量出版社用英文出版了三白余頁(yè)的會(huì)議論文集。由蘭州物理所、消華大學(xué)和中國(guó)計(jì)量院執(zhí)筆、 綜述中國(guó)真空計(jì)量進(jìn)展的論文作為大會(huì)綜述報(bào)告在全體會(huì)議上發(fā)表，中文全文已刊登在“ 真空與低溫”2004年**期。
2004年6月28日一7月2日在意大利的威尼斯城召開(kāi)了第十六屆國(guó)際真空會(huì)議〔IVC-16)/第十二屆國(guó)際固體表面會(huì)議 (ICSS-12)/第八屆國(guó)際納米尺度科學(xué)與技術(shù)會(huì)議(NANO-8)和第十七屆意大利真空會(huì)議( AIV -17) 。這二年一屆的國(guó)際盛會(huì)有1500人參加，設(shè)有真空科學(xué)與技術(shù)專門分會(huì)場(chǎng)，共發(fā)表口頭和張貼真空論文108篇，一定程度上反映了真空計(jì)量、質(zhì)譜和檢漏技術(shù)的現(xiàn)狀和新進(jìn)展。
近兩年有機(jī)會(huì)訪問(wèn)了歐美的一些相關(guān)工廠和研究單位，包括德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究所(PTB)和意大利計(jì)量研究院(IMG C)的真空校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室、Varian公司在意大利和美國(guó)的工廠和美國(guó)AMETEK和Extrel兩家生產(chǎn)四極質(zhì)譜計(jì)的公司。
本文將根據(jù)已了解的國(guó)內(nèi)外真空計(jì)量、質(zhì)譜和檢漏領(lǐng)域的新進(jìn)展，結(jié)合參加兩個(gè)相關(guān)國(guó)際會(huì)議與對(duì)歐美的訪問(wèn)作簡(jiǎn)要綜述，由于了解情況有限，希望起到 “ 拋磚引玉”的作用。
一、真空計(jì)量
質(zhì)量控制和加入WTO促進(jìn)了我國(guó)對(duì)計(jì)量和標(biāo)準(zhǔn)化的重視， 有些部門已經(jīng)加大了對(duì)真空計(jì)量的投入，出現(xiàn)了一些可喜的進(jìn)展和新成果。
我國(guó)已生產(chǎn)的各種類型真空計(jì)數(shù)量和質(zhì)量均有提高。
德國(guó)PTB的K. Jousten博士在IVC-16上做了“在分子流區(qū)域氣體密度非均勻性的測(cè)量與計(jì)算”報(bào)告，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織 (ISO)/真空技術(shù)(TC112)秘書處現(xiàn)設(shè)在PTB,意大利IMGC的Calcartell博士綜述了意大利真空技術(shù)的發(fā)展，該所在電容薄膜規(guī)(CDG)校準(zhǔn)和修正擬合模型等方面長(zhǎng)期開(kāi)展了深入的研究。
韓國(guó)、墨西哥等國(guó)都加大了對(duì)真空計(jì)量等的投入。
真空計(jì)集成實(shí)現(xiàn)寬量程的發(fā)展趨勢(shì)引人注目， 目前己有寬達(dá)13個(gè)量程的這類商品出現(xiàn)。
我國(guó)在加強(qiáng)基礎(chǔ)研究、提高真空計(jì)量和發(fā)展新品種、更積極的參加ISO/ TC 112活動(dòng)等方面均需做山更大的努力。
二、質(zhì)譜分析
國(guó)內(nèi)外對(duì)真空質(zhì)譜重要性的認(rèn)識(shí)進(jìn)一步得到確認(rèn)， 國(guó)內(nèi)需求急劇增長(zhǎng)，取得了多項(xiàng)有重要價(jià)值的成果。
雖然我國(guó)曾在真空質(zhì)譜儀器研究方面敲步甚早， 當(dāng)前與大、中型質(zhì)譜儀器的開(kāi)發(fā)停滯不前的形勢(shì)一樣， 國(guó)產(chǎn)分壓強(qiáng)質(zhì)譜計(jì)的研究和生產(chǎn)已落入低谷 盡管還有些單位在困難條件下堅(jiān)持工作。這一嚴(yán)峻形勢(shì)*近已開(kāi)始引起注意。
四極質(zhì)譜計(jì)系列仍是主流產(chǎn)品， 激烈的竟?fàn)幋偈沽诵阅軆r(jià)格比的提高，在擴(kuò)展質(zhì)量范圍、提高質(zhì)量分辨本領(lǐng)、擴(kuò)展樂(lè)強(qiáng)范圍( Extended Pressure Range),微型化以及縮小體積減輕重量等方面不斷取得新的突破。
小型色譜飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)(TOFMS)的發(fā)展取得了顯著的進(jìn)展。
小型色譜/質(zhì)譜(GC/MS)儀器的新進(jìn)展值得重視。
分壓強(qiáng)質(zhì)譜計(jì)的校準(zhǔn)日益受到重視，但目前尚未達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)化的程度，我國(guó)在這方面早已起步，取得了階段性成果。
在國(guó)內(nèi)真空質(zhì)譜分析需求急劇增長(zhǎng)和國(guó)外產(chǎn)品競(jìng)相進(jìn)入我國(guó)市場(chǎng)的條件下，既是嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)，也有良好的發(fā)展機(jī)遇。
三、檢漏
檢漏已成為保證真空、常壓以及高壓器件和系統(tǒng)密封性必不可少的實(shí)用技術(shù)， 在迅速發(fā)展確保密封性的系統(tǒng)下 程中成為*重要的檢測(cè)手段， 我國(guó)已有日益廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域， 還有很多尚待開(kāi)發(fā)的處女地。
在國(guó)際上各種類型先進(jìn)的檢漏儀器不斷進(jìn)入國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的同時(shí)，我國(guó)檢漏儀器的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)從來(lái)沒(méi)有中斷過(guò)，己經(jīng)穩(wěn)定的保持了民族工業(yè)的發(fā)展， 并不斷進(jìn)取， 采用先進(jìn)的技術(shù)。
每次年會(huì)上都可高興地見(jiàn)到新產(chǎn)品和新型號(hào)儀器問(wèn)世，涉及的廠家和單位也不斷擴(kuò)大。
各種類型的質(zhì)譜檢漏儀，特別是便攜式儀器在10-12~10-11Pa m 3/s檢漏靈敏度范圍內(nèi)穩(wěn)步提高的情況下 ，主要朝便于實(shí)用的方向繼續(xù)發(fā)展。與此同時(shí)，為確保小型真空儀器的高可靠性和長(zhǎng)壽命， 采用累積法實(shí)現(xiàn)10 -14 ~10-11 Pa m 3/s，超靈敏度檢漏系統(tǒng)和技術(shù)正在發(fā)展，我國(guó)這方向的研究也不斷取得新進(jìn)展。
為滿足工業(yè)檢翻日益增長(zhǎng)的需求， 非質(zhì)譜型工業(yè)業(yè)檢漏儀器的發(fā)展*值得引起國(guó)內(nèi)的密切注意。 利用石英滲氮及其溫度效應(yīng)和小型離子泵作為檢測(cè)元件的工業(yè)便攜式檢測(cè)儀器成為IVC-16會(huì)議上真空儀器發(fā)展的新亮點(diǎn)，至少己有加熱石英毛細(xì)管和利用硅基片上沉積Si02膜，通過(guò)半導(dǎo)體工藝制成Si02窗和熱柵的兩種商品批聳生產(chǎn)，具有工業(yè)檢漏的靈敏度，可在大氣壓下檢漏。
自從2002年召開(kāi)中國(guó)真空學(xué)會(huì)第十一屆質(zhì)譜分析和檢漏會(huì)議和中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)第六屆真空計(jì)量會(huì)議( 桂林會(huì)議)以來(lái)，國(guó)內(nèi)外真空計(jì)量、質(zhì)譜和檢漏領(lǐng)域均有新進(jìn)展。
2003年9月22-24日在北京由國(guó)際測(cè)量聯(lián)合會(huì)(International Measurement confederation簡(jiǎn)稱IMKO)壓力和真空測(cè)量技術(shù)委員會(huì)(TC 16) **在我國(guó)北京召開(kāi)了國(guó)際壓力和真空測(cè)量會(huì)議，參加會(huì)議的代表來(lái)自美、英、德、意、韓、日、法、墨、芬、新、十、捷、俄、巴基斯坦和中國(guó)等十五國(guó)，共發(fā)表論文5 4篇，己由中國(guó)計(jì)量出版社用英文出版了三白余頁(yè)的會(huì)議論文集。由蘭州物理所、消華大學(xué)和中國(guó)計(jì)量院執(zhí)筆、 綜述中國(guó)真空計(jì)量進(jìn)展的論文作為大會(huì)綜述報(bào)告在全體會(huì)議上發(fā)表，中文全文已刊登在“ 真空與低溫”2004年**期。
2004年6月28日一7月2日在意大利的威尼斯城召開(kāi)了第十六屆國(guó)際真空會(huì)議〔IVC-16)/第十二屆國(guó)際固體表面會(huì)議 (ICSS-12)/第八屆國(guó)際納米尺度科學(xué)與技術(shù)會(huì)議(NANO-8)和第十七屆意大利真空會(huì)議( AIV -17) 。這二年一屆的國(guó)際盛會(huì)有1500人參加，設(shè)有真空科學(xué)與技術(shù)專門分會(huì)場(chǎng)，共發(fā)表口頭和張貼真空論文108篇，一定程度上反映了真空計(jì)量、質(zhì)譜和檢漏技術(shù)的現(xiàn)狀和新進(jìn)展。
近兩年有機(jī)會(huì)訪問(wèn)了歐美的一些相關(guān)工廠和研究單位，包括德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究所(PTB)和意大利計(jì)量研究院(IMG C)的真空校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室、Varian公司在意大利和美國(guó)的工廠和美國(guó)AMETEK和Extrel兩家生產(chǎn)四極質(zhì)譜計(jì)的公司。
本文將根據(jù)已了解的國(guó)內(nèi)外真空計(jì)量、質(zhì)譜和檢漏領(lǐng)域的新進(jìn)展，結(jié)合參加兩個(gè)相關(guān)國(guó)際會(huì)議與對(duì)歐美的訪問(wèn)作簡(jiǎn)要綜述，由于了解情況有限，希望起到 “ 拋磚引玉”的作用。
一、真空計(jì)量
質(zhì)量控制和加入WTO促進(jìn)了我國(guó)對(duì)計(jì)量和標(biāo)準(zhǔn)化的重視， 有些部門已經(jīng)加大了對(duì)真空計(jì)量的投入，出現(xiàn)了一些可喜的進(jìn)展和新成果。
我國(guó)已生產(chǎn)的各種類型真空計(jì)數(shù)量和質(zhì)量均有提高。
德國(guó)PTB的K. Jousten博士在IVC-16上做了“在分子流區(qū)域氣體密度非均勻性的測(cè)量與計(jì)算”報(bào)告，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織 (ISO)/真空技術(shù)(TC112)秘書處現(xiàn)設(shè)在PTB,意大利IMGC的Calcartell博士綜述了意大利真空技術(shù)的發(fā)展，該所在電容薄膜規(guī)(CDG)校準(zhǔn)和修正擬合模型等方面長(zhǎng)期開(kāi)展了深入的研究。
韓國(guó)、墨西哥等國(guó)都加大了對(duì)真空計(jì)量等的投入。
真空計(jì)集成實(shí)現(xiàn)寬量程的發(fā)展趨勢(shì)引人注目， 目前己有寬達(dá)13個(gè)量程的這類商品出現(xiàn)。
我國(guó)在加強(qiáng)基礎(chǔ)研究、提高真空計(jì)量和發(fā)展新品種、更積極的參加ISO/ TC 112活動(dòng)等方面均需做山更大的努力。
二、質(zhì)譜分析
國(guó)內(nèi)外對(duì)真空質(zhì)譜重要性的認(rèn)識(shí)進(jìn)一步得到確認(rèn)， 國(guó)內(nèi)需求急劇增長(zhǎng)，取得了多項(xiàng)有重要價(jià)值的成果。
雖然我國(guó)曾在真空質(zhì)譜儀器研究方面敲步甚早， 當(dāng)前與大、中型質(zhì)譜儀器的開(kāi)發(fā)停滯不前的形勢(shì)一樣， 國(guó)產(chǎn)分壓強(qiáng)質(zhì)譜計(jì)的研究和生產(chǎn)已落入低谷 盡管還有些單位在困難條件下堅(jiān)持工作。這一嚴(yán)峻形勢(shì)*近已開(kāi)始引起注意。
四極質(zhì)譜計(jì)系列仍是主流產(chǎn)品， 激烈的竟?fàn)幋偈沽诵阅軆r(jià)格比的提高，在擴(kuò)展質(zhì)量范圍、提高質(zhì)量分辨本領(lǐng)、擴(kuò)展樂(lè)強(qiáng)范圍( Extended Pressure Range),微型化以及縮小體積減輕重量等方面不斷取得新的突破。
小型色譜飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)(TOFMS)的發(fā)展取得了顯著的進(jìn)展。
小型色譜/質(zhì)譜(GC/MS)儀器的新進(jìn)展值得重視。
分壓強(qiáng)質(zhì)譜計(jì)的校準(zhǔn)日益受到重視，但目前尚未達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)化的程度，我國(guó)在這方面早已起步，取得了階段性成果。
在國(guó)內(nèi)真空質(zhì)譜分析需求急劇增長(zhǎng)和國(guó)外產(chǎn)品競(jìng)相進(jìn)入我國(guó)市場(chǎng)的條件下，既是嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)，也有良好的發(fā)展機(jī)遇。
三、檢漏
檢漏已成為保證真空、常壓以及高壓器件和系統(tǒng)密封性必不可少的實(shí)用技術(shù)， 在迅速發(fā)展確保密封性的系統(tǒng)下 程中成為*重要的檢測(cè)手段， 我國(guó)已有日益廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域， 還有很多尚待開(kāi)發(fā)的處女地。
在國(guó)際上各種類型先進(jìn)的檢漏儀器不斷進(jìn)入國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的同時(shí)，我國(guó)檢漏儀器的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)從來(lái)沒(méi)有中斷過(guò)，己經(jīng)穩(wěn)定的保持了民族工業(yè)的發(fā)展， 并不斷進(jìn)取， 采用先進(jìn)的技術(shù)。
每次年會(huì)上都可高興地見(jiàn)到新產(chǎn)品和新型號(hào)儀器問(wèn)世，涉及的廠家和單位也不斷擴(kuò)大。
各種類型的質(zhì)譜檢漏儀，特別是便攜式儀器在10-12~10-11Pa m 3/s檢漏靈敏度范圍內(nèi)穩(wěn)步提高的情況下 ，主要朝便于實(shí)用的方向繼續(xù)發(fā)展。與此同時(shí)，為確保小型真空儀器的高可靠性和長(zhǎng)壽命， 采用累積法實(shí)現(xiàn)10 -14 ~10-11 Pa m 3/s，超靈敏度檢漏系統(tǒng)和技術(shù)正在發(fā)展，我國(guó)這方向的研究也不斷取得新進(jìn)展。
為滿足工業(yè)檢翻日益增長(zhǎng)的需求， 非質(zhì)譜型工業(yè)業(yè)檢漏儀器的發(fā)展*值得引起國(guó)內(nèi)的密切注意。 利用石英滲氮及其溫度效應(yīng)和小型離子泵作為檢測(cè)元件的工業(yè)便攜式檢測(cè)儀器成為IVC-16會(huì)議上真空儀器發(fā)展的新亮點(diǎn)，至少己有加熱石英毛細(xì)管和利用硅基片上沉積Si02膜，通過(guò)半導(dǎo)體工藝制成Si02窗和熱柵的兩種商品批聳生產(chǎn)，具有工業(yè)檢漏的靈敏度，可在大氣壓下檢漏。
為保證檢漏儀器的可靠性， 微流量(漏率)的校準(zhǔn)及參考漏孔的研制都取得了持續(xù)穩(wěn)定的進(jìn)展，這方面國(guó)內(nèi)取得了可喜的進(jìn)展，靈敏度檢翻的實(shí)時(shí)校準(zhǔn)方法有白己的特色。
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