分子泵市場(chǎng)分析(半導(dǎo)體泵設(shè)備保養(yǎng)）

分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。

 　　由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開(kāi)發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場(chǎng)合的需要。

 　　分子泵也廣泛應(yīng)用于核物理、電真空和表面科學(xué)等領(lǐng)域，由于半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展迅速，真空泵的市場(chǎng)拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安，德國(guó)普發(fā)，歐瑞康萊寶， Busch,和 Osaka Vacuum等公司，其他制造商主要是國(guó)產(chǎn)儀器廠商，如北京北儀**真空技術(shù)有限責(zé)任公司，成都南光機(jī)器有限公司，中科院沈陽(yáng)科學(xué)儀器等企業(yè)。但是，無(wú)論是在技術(shù)還是在市場(chǎng)發(fā)展上，國(guó)外的儀器產(chǎn)品都遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)國(guó)內(nèi)儀器產(chǎn)品。

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