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EXT400/200/30H三入口能同時抽取三個腔體的真空,分別抽速可達到302 L/s / 190 L/s /28L/s,轉速為60000rpm,對應的控制器為Edwards EXDC160,金華杰精修Edwads愛德華/Seiko Seiki精工精機全系列分子泵。
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