Leybold萊寶PT80H DRY真空分子泵機(jī)組維修，Oerlikon  PT80H DRY Turbo Pumping Systems高真空分子泵系統(tǒng)是由萊寶SL80H渦輪分子泵和TRIVAC 1.4HV3前級(jí)油泵/渦旋真空泵SC5D等組成。進(jìn)氣法蘭口DN63 ISO-K/DN63 CF，抽速可達(dá)到65 L/s，真空度10-7 mbar（0.75X10-7 Torr）。

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