瓦里安Minuteman Turbo-V70LP分子泵機(jī)組保養(yǎng)，Varian  Minuteman Turbo V70LP Dry緊湊型分子泵系統(tǒng)是由瓦里安Turbo-V70LP渦輪分子泵和前級(jí)真空泵組成，進(jìn)氣法蘭口DN63 CF-F,抽速可達(dá)到68L/s，真空度1X10-9 mbar.

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